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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

业务游戏背景 该半导体设备技术公司公司企业在长三边形城市,首要分娩8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日尾气进行排放废排水量约2000吨。考虑到半导体设备技术分娩艺非常复杂,废渣有效成分繁多且包含的多种不同难光降解产品,公司公司企业本来的处置设施设备不能做到发展严苛的环保健康尾气进行排放原则,故进行投资1000万元新砌的专注废渣处置站。 废水处理方法化学成分及来历 该工厂废水处理工艺常见分4类: 含氟电镀废水:源头于晶圆蚀刻、除垢工艺,氟化合物含量可以达到2000mg/L; 可挥发废渣:原于光刻、成像等工序,内含异丙醇、二甲苯等可挥发相转移催化剂,COD值在5000mg/L之间; 酸碱平衡废液:导致于清理和外层治疗流程,pH值跌涨大; 含铜医药化工废水:来自五湖四海真空镀膜和金属质医药化工艺,铜阴阳离子浓度值约150mg/L。 治理 加工制作工艺 具体流程 重要性多种基本特征的工业废水,使用"总类征集+分质处置+后部高度处置"的结构流程: 含氟化工废水解决线: 多级化学反应石雕文化沉淀物:先加药氯化钙自动调节pH至6-7,加个入PAC和PAM斜管沉淀物池石雕文化沉淀物; 催化活性空气氧化铁离心分离:有效确保氟正离子氧浓度减至8mg/L低于。 有机会生产废水净化处理线: 微钛电极反映:铁碳悬浮填料床预除理挺高废气可生化学性; UASB好氧池体现器:HRT=24h,COD弄掉率65%; MBR膜动物反應器:用到PVDF空心弹性纤维膜,出水量COD<50mg/L。 耐酸碱电镀废水结合设备: 自己pH管控:能够 在线上污染监测仪管控加酸加碱量; 斜管沉淀出的池沉淀出的:清理采和生产的浮动物。 含铜废渣治理 : 药剂学积淀:添加NaOH调低pH至9-10,养成氢脱色铜积淀; 化合物变换:提高认识铜化合物渗透压<0.3mg/L。 长度正确处理单无: 嗅氧崔化被氧化:进步降解塑料难溶解有机化学物; 活力性炭过滤清洁:弄掉亮度和轻微被污染的物; 紫外光线消毒剂:保证 溢水微枯草芽孢杆菌因素达到标准。 结果英文效用 创业项目开机启动后,水流水的质量不稳定性达到了《智能轻工业水弄脏物废气排污规定》(GB 39731-2020)尤其是废气排污最大限度让,但其中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。几乎每年可才能减少氟化物废气排污约120吨,COD废气排污约400吨,收售水环境量约五十万吨。机系统重新化的情况高,开机启动价格调节在8.5元/吨水左右两边。

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