半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
创业项目游戏 背景
该的企业公司为中国领先地位的半导首测的企业公司,在珠江三角洲形中北部,注意来中高端电源芯片的片区和封口检查。鉴于当地的生态环保需求严谨,的企业公司取决制定一个废水正确处理零进行排放工程建设。业务于202五年重启,202五年6月投入使用投入运营,正确处理建设规模为200吨/日,总投资加盟约2000万余元。
污废水 含量及来源地
本项依据片区污废水 极具以下的优点:
高溶度氟化物,最主要来自五湖四海晶圆水刀切割后的除垢制作工艺,氟阴阳离子溶度高至150-200mg/L
有nm级硅粉粒状,粒级多在100-500nm之間
有机会工况较高,COD在500-800mg/L
带有少量巨资属如铅、镉等
导电率高,一般 在2000-3000μS/cm
进行处理加工制作工艺 步奏
为做到零减排个人目标,加工过程设计构思比较偏重考虑到工业废水进行分类收废和成本收废:
废渣细分整理系统
:将含氟化工废污水与许多化工废污水分手分类整理
无机化学沉淀自己除氟
:进行二级钙盐积淀法,合作科学规范积淀池
高脱色补救
:O3促使脱色光降解难除理有机会物
膜浓缩咖啡模式
:适用DTRO碟管式反渗透膜工作会更,高浓质数和合数为10倍
蒸馏成果
:MVR机器空气压缩视频再压缩视频多效冷疑器净化处理浓水
空气干燥程序
:将晶体盐吹干后看作工业化副物料外售
治理治疗效果
系统性行驶统计资料展现:
氟化物删去率>99.9%,喷水氟阴阳离子<1mg/L
COD总消除率>98%,留水COD<20mg/L
污水从而量的回收利用率>95%,仅诞生极富成果盐
每季度废物回收并高产品质量回收水约10万吨
心得盐色度起到化工业级标准的,确保成本化采用
大型项目不单单体现了废水处理方法零产生,还按照材料回收分类处理创作了约80万美金/年的加倍年化收益。