工程情况
该半导体芯片制作行业区最靠近苏北各地,总投入超越200多亿,重点出产12英尺晶圆和高级封口品牌。行业区日排出废出水量约5000吨,蕴含很多种工艺流程废渣,净化净化处理难度很大大。顶目条件废渣净化净化处理后提高《电子无线行业水生态破坏物排出条件》(GB 39731-2020)独特排出最大限度,一些使用率不高于60%。
焦化废水部分及來源
含氟污废水 :具体基晶圆蚀刻、洗涤制作工艺,氟铁离子氧化还原电位敢达200-500mg/L,pH值起伏大
生产污废水 :光刻、定影、去胶等加工过程会产生,COD溶度300-800mg/L,含带异丙醇、异丙醇等生产稀释剂
含铜生活污水:塑料电镀、化学上的机械化打磨抛光(CMP)加工过程发生,铜阳离子溶度50-150mg/L
碱酸废水处理:设配拆洗、废气排放洗衣等环节存在,pH值在2-12左右震荡
研磨抛光污废水 :CMP多种工序产生了,所含奈米级二腐蚀硅粒子
补救生产技术注意事项
进行"划分抽取+分质治疗+程度洁净"的组成生产技术:
含氟废渣治疗线
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二级耐腐蚀乳浊液:先加药氯化钙调试pH至6-7,加上入PAC和PAM水解酸化池乳浊液
活力性空气氧化铁吸出:保持氟正离子浓度值减少为5mg/L之下
污泥处理经板框压滤后请求技术加工
有机会废渣整理线
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微电解抛光设备预清理:铁碳微电解抛光设备分解大原子有机化学物
UASB活性污泥法想法器:HRT=24h,COD避开率>60%
MBR膜生物工程不起作用器:进行PVDF弧形黏胶纤维膜,通量15LMH
含铜废水除理工艺除理线
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化学上的乳浊液:污泥脱水NaOH控制pH至9-10,转变成Cu(OH)2乳浊液
正化合物交易:两极环氧树脂交易确保安全铜正化合物<0.3mg/L
钛电极法收废:部位焦化废水经钛电极法收废废金属铜
标准化处理软件系统
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调结池:义均饮用水水流量,设暴气混和
沥青混凝土发展:加药符合二沉池剂清掉胶体溶液有机化合物
二被氧化碳离子液体被氧化:生物光降解难生物光降解充分物
反构建整体:脱盐率>98%,产水回收于工作线
污水正确处理软件
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废水浓缩提炼池:混合物溶度从1%完善至3%
离心力脱干:进入PAM条理,泥饼含水分率<75%
超低温干化:大部分活性污泥干化至含水量率30%以内
决定性疗效
项目流程开工建设进行后,一项指标值稳定性合格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜铁离子<0.3mg/L、pH 6-9。循环水水质标淮做到GB/T 19923-2005轻工业供水标淮,循环率65%,第一年省下最新鲜水需水量约1二十万吨。生活污水形成量抑制40%,有危险垃圾加工代价大大减少35%。平台自己化情况高,线下监测方案数据资料与干净相关部门实时的连网。