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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆产量线生活配套的超去离子水系统性,每一天呈现含硅生活污水150吨。生活污自来水中虽无血本属,但硅成分高易积垢,且功率电阻率需达标18MΩ·cm能够造纸废水加工。增加了加工工序不能实现新出台的《手机企业水环境破坏物排污规定》(GB39731-2020)有点排污最大限度。 污废水 组成成分作用 最主要的废弃物物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度分布0.1-1μm) 特定条件 :TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L 环境质量特征 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅氧化物形式很复杂 治理 工序方案 创新发展主要采用"梯级膜分开+电去正离子"结合鑫霖环保: 微滤预加工 :1μm卫浴陶瓷膜拦阻大颗粒状硅,通量达到80LMH 铝离子互转聚酯树脂 :D201大孔硅胶粘合剂挑选性吸附剂硅酸原子 2级RO系统软件 :一是段收集率60%,第三段按照高脱硼膜电气元件 EDI电去阳离子 :瞬时电流容重2A/m²,一直洗去残存亚铁离子 分光光度计杀菌的 :254nm分光光度计线摄入量40mJ/cm² 能力创新举措 设计规划专门的阻硅剂(有机化学胺类复合材料物),减缓膜危害过渡期3倍 EDI输出模块科技创新流道制定,硅清理率大幅提升至99.8% 上线硅讲解仪(在线测量范畴0.1-500μg/L)体现深度贫困管控 启用初步成效 经3.方的检测: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼纯度从8μg/L下降0.3μg/L 程序收回率从原40%加快至68% 膜根换时间延迟至5年,年正常运作直接费用降35%

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