东莞某半导体行业电子器件手工制作厂，晶圆手工加工方式中形成含硅、氟的特种废气处置，制定处置经营规模1200吨/日。废气处置部分简化，具有刺激性納米级硅颗粒肥料及盐酸，过去的处置方案未能及格。 废污水化学成分及种类 一般的污染 ：悬浊液硅（100-500nm孔径）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来自制作工艺 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP物理化学机器抛光处理生活污水（40%）、机器冲干净水（15%） 整理生产工艺具体流程 革新用到"药剂学沉垫+特总膜分离处理"枝术自驾线路： 钙盐凝固 ：污泥脱水氯化钙除掉氟铝离子（合成CaF2奠定） 水解酸化池反响 ：复合材料斜管沉淀池剂达到橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜截流微细颗粒剂 反融合平台 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 减压蒸馏凝结 ：浓水段进行氟化物零尾气排放标准 结果英文功效 氟化物溶液浓度：<8mg/L（最低國家一級标准规定10mg/L） 硅含碳量：<5mg/L 水网络资源工业废水处理率：70%在制冷塔保湿补水 危险废弃物降低：蒸发掉渣滓量较传统与现代的工艺降低60%