半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片中高档首测设施涉重废水处理方法——MVR强制性重复零排工程项目
顶目大环境
半导体技术芯片中高端测封新活动,占比150立米米/天,是首家半导体技术芯片测封生活设施涉重污水零排新活动。测封节点的镀镍、镀铜、引线三层架构清晰会呈现含镍含铜污水,居民小区符合要求"无尾水外排",产水全不工业废水处理于产线。
水体本质特征与要点
废液以含镍主要(溶度10–100毫克/升),伴多量铜、锌,pH振幅大(2–12),和光刻胶使用量的多量有机的物。测封厂训练场紧,想要操作安全设施占地赔偿小;零排暗示着着浓水不可能运输更多,有必要当地蒸发掉析出反馈控制。
清工院艺路线规划
整个走"分质回收利用 → 预处置除杂 → 无机化学沉积除镍 → 吸附 → UF+二级RO → MVR强行无限循环蒸发掉 → 气液分离器水回收":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢氧化的物钠绘制Ni(OH)₂沉淀出的,加上加硫钠深入气体吸附残存镍(加硫镍Ksp比氢氧化的物镍更小,就可以把镍压到0.1毫克/升下列);
沉淀出的出水量经多导电介质过虑装置+安全过虑装置后进UF,再进一层RO,产水同时回产线难以清理;
RO浓水(含盐+的残留物血本属)进MVR强硬再循环法空调冷凝器器,强硬再循环法能扛高含盐水垢,空调冷凝器器原带网上擦拭,不宜堵;
MVR蒸汽加热水回回收地下室集水井,汽化残液委外焚烧炉或做危险废物防范,整体的厂内无固体外排。
重中之重主设备优越性阐述
MVR硬性循坏比较平凡降膜化掉,循坏水流量高、热传递面容易结镍盐/碳酸盐垢,满足测封此类"发电量不算太大但水环境杂"的场合;三合一化撬装设计拆迁赔偿比传统型化掉塘+多效化掉措施小60%以上内容;异味重侧模块化海洋生物滤池,把调低池和污泥干化间的异味重收集整理后分解成CO₂和水,防止出现测封厂相邻办公楼区的异味重网络投诉。
整理作用与生态效益
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,更为重要《塑料电镀危害物尾气进行排放要求要求》表三;全150立方米/天产水循环于测封产线清理,代替等量丰富水;危险废弃物(挥发残液+工业废水)量比一般"滤渣+尾气进行排放要求"格局减约70%。对富士康侧,测封顶目健康市场准入卡点被揍通;